干式光刻机的物理极限NA是0.93。咱们这套NA0.85的镜头，已经完全能够支撑65纳米工艺节点的芯片量产！如果配合上芯片厂的多重曝光技术，它甚至能去摸一摸45纳米的门槛！这比国家原定的90纳米目标，整整跨越了一个大台阶！”
“好！太好了！”许晨拍了拍王立国的手臂，“能把NA0.85的干式物镜做出来，这就是咱们的入场券。先把65纳米的底子夯实，下一步咱们直接加水，去搞NA1.35的浸没式物镜，向28纳米冲刺！”
许晨转头看向身后的陈立峰：“给王院士团队的所有研发人员发奖金！从晨宇资本账户里拨五千万出来，作为这次攻克物镜系统的专项奖励！”
“我替同事们谢谢许总！”王立国也不客气，搞科研的也是人，不仅要讲情怀，更要讲真金白银。
……
许晨离开长天光学的无尘车间。
回到天宇集团总部的办公室，许晨脱下外套，喝了一口水。
晨宇资本负责人陈立峰一同进入。
当初去长春找王立国谈判，就是陈立峰带着法务部骨干一路跟进的。
许晨坐下，目光转向陈立峰，“我之前交代你的另外两件事，目前进展怎么样了？”
造光刻机，有三座大山。
光学物镜系统、超精密双工作台、核心光源。
许晨早就知道，国家在2016年其实已经出了不少成果，但很多都停留在实验室阶段，缺乏商业化量产的稳定性。
光靠一个长天光学，造不出完整的光刻机。所以在投资长春光机所后，他立刻让陈立峰带着资金，去国内寻找另外两座大山的顶尖团队。
“许总，按照您的指示，这两条线这大半年来我一直在亲自跟进。”
陈立峰打开厚厚的公文包，拿出了两份绝密的文件递给许晨，“有了天宇的资金支持，他们的研发进度同样比国家原定的计划提前了一大截。”
“首先是超精密双工作台。”陈立峰指着第一份文件，“我们找到了水木大学的朱建平教授团队。我们砸了6个亿进去，联合水木大学，成立了天卓精密控制技术有限公司。”
陈立峰翻开报告：“许总，光刻机在曝光的时候，底下承载硅片的工作台需要飞速移动。这就好比，您需要在一列时速三百公里的高铁上，不仅要用针去穿线，而且每次穿线的误差不能超过一根头发丝的万分之一。”
“更变态的是，为了提高效率，现在都是双工作