三,化学研究所园区。
「开始吧。」
实验室操作台旁,周启深暂时按捺心中激动,沉声对研究人员下达光刻胶样品配置命令。
很快在他和徐铭注视下,经过纯化的粉末状树脂,严格按照模型计算比例,与光致产酸剂以及极性质子溶剂进行混合配置,这不仅能提升灵敏度,还可以显著改善光刻胶的储存稳定性。
直到最终的光刻胶成品样品出炉,才听科研人员停下手上动作进行汇报。
「报告徐总师和周院,光刻胶样品制备完成。」
「立刻检测样品结构谱图,进行首次物理验证。」周启深没有任何耽搁当即作出指令。
依靠著徐铭的实验方案,经过这些天具体操作,终于配置出样品,正常来说应该无比激动才对。
然此刻大家心中,更多是紧张。
毕竟这项光刻胶的分子结构,违反了化学材料中的稳定性规则,虽成功配置出光刻胶样品,但究竟能否达到模拟的预测数值效果。
眼下还是个未知数。
终究要拿验证结果来说话。
徐铭对自己的设计成果,无疑颇有自信,不过他也能感受到周启深的紧张。
于是顿了顿后,主动开口与之搭话,稍微宽慰两句。
「放心吧周院,我相信我们的付出不会白费,这将是全世界最好的极紫外光刻胶。」
周启深听到这句话,心里则是苦笑不得。
未曾想自己一个化学领域顶尖专家,竟还不如徐铭这位数学家胸有成竹。
仿佛对方才是那个专家。
思忖至此,虽不知该如何回应,心里确实平静不少。
化学研究所内的验证,总结为小试和中试。
通过核磁和质谱分析,确认与计算的结构谱图,是否完全吻合。
将光刻胶旋涂成膜后,在实验室的电子束光刻设备上进行曝光,进行首次物理验证刻出纳米级孤立线条。
待这两项检测验证流程通过,便能送至微电子装备开展最终的流片。
就这样经过一段时间等待。
只见路川兴冲冲从外面推门走进办公室,脚步还未迈进来便忍不住开口报喜。
「老师。」
「光刻胶样品的验证数据出来了,各项数值完全吻合计算的结果。」
边说边近前把报告递过去。
周启深连忙接过查看,确定结果无误,又给沙发处的徐铭拿过去,完全没有掩饰脸上喜色和溢于言表的笑容。
「我们竟在这么短的时间内,合成出了所需光刻胶。」
口中激动著低喃句,下秒想到什